主な特長
ガラスと金属の封止技術 (GTMS)
ピンとベースはガラス絶縁体で焼結封止されており、確実な気密性を確保しています。
カスタマイズ可能なピン配列
ピン数とレイアウトは、さまざまな回路に合わせて柔軟にカスタマイズできます。
優れた気密性
シーリングは高い信頼性基準を満たしており、内部コンポーネントを長期的に保護します。
ステンレスベース構造
ステンレス鋼のベースは堅牢な構造で、衝撃や振動に耐性があります。
ガス流量測定
各種ガス流量計に最適なコアパッケージです。
産業用プロセス制御
産業用プロセスガス流量制御システムに適しています。
実験器具
研究室用の精密ガス流量測定装置に適しています。
柔軟なピンのカスタマイズ
さまざまな回路設計ニーズに合わせてピン配置を柔軟に調整できます。
成熟した GTMS プロセス
成熟したガラスと金属の封止技術プラットフォームに支えられています。
信頼性の高い密閉保護
内部コンポーネントを環境の影響から長期的に保護します。
ガス流量計は、電気相互接続とガス流量感知要素の密閉保護を提供することによって機能します。ベースはステンレス鋼で作られています。ガラス絶縁ピンは焼結プロセスを通じてベースに接続され、密閉接続が形成されます。
ガス流量計の内部検出素子はベースの取り付け面に取り付けられ、溶接ワイヤを介して対応するピンに接続されます。
ベースと流量計シェルを溶接して密閉したパッケージ構造を形成することで、内部のセンシング部品が測定対象ガスや外部環境によって腐食されず、流量計の長期安定した測定精度が保証されます。
| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| 材料 | コバールまたはステンレス鋼 |
| プロセス | GTMS |
| 温度レベル | 高い熱安定性 |
| 気密性 | ≤1×10⁻⁹Pa・m3/s |
| 電気絶縁 | >5000MΩ(DC100V) |
| Dimensions | カスタマイズされたデザインも利用可能 |
| パッケージ | 標準梱包 |
| 適用する | ガス流量測定、工業用プロセス制御、実験用機器 |