ガス流量計

主な特長

• ガラスと金属の封止技術 (GTMS)

  ピンとベースはガラス絶縁体焼結により封止されており、確実な気密性を誇ります。

• カスタマイズ可能なピンのレイアウト

  ピンの数とレイアウトは、さまざまな回路に合わせて柔軟にカスタマイズできます。

• 優れた気密性

  気密性は高信頼性基準を満たしており、内部コンポーネントを長期的に保護します。

• ステンレスベース構造

  ステンレス製のベースは堅牢な構造で、耐衝撃性と耐振動性を備えています。

アプリケーション

• ガス流量測定

  各種ガス流量計のコアパッケージに適しています。

• 産業用プロセス制御

  産業用プロセスガス流量制御システムに適しています。

• 実験器具

  研究室用の精密ガス流量測定装置に適しています。

製品のハイライト

• 柔軟なピンのカスタマイズ

  ピンレイアウトは、さまざまな回路設計要件に合わせて柔軟に調整できます。

• 成熟した GTMS プロセス

  成熟したガラスと金属の封止技術プラットフォームに支えられています。

• 信頼性の高い気密保護

  内部コンポーネントを環境の影響から長期的に保護します。

仕組み

ガス流量計は、ガス流量感知要素に電気的相互接続と気密保護を提供することによって機能します。ベースはステンレス鋼で作られています。ガラス絶縁ピンは焼結プロセスを通じてベースに接続され、気密接続が形成されます。

ガス流量計の内部検出素子はベースの取り付け面に取り付けられ、ワイヤボンディングによって対応するピンに接続されます。

ベースと流量計ハウジングは溶接されて密閉パッケージ構造を形成しており、内部の検出素子が測定ガスや外部環境によって侵食されることがなく、流量計の長期安定した測定精度が保証されます。

製品パラメータ