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1. 入荷検査と前処理
気密包装の品質は原材料から始まります。 3種類の芯材の検査基準：
金属ハウジング - コバールハウジングでは、化学組成 (Fe: 53%、Ni: 29%、Co: 17%) の検証、粒子サイズと寸法公差のサンプリング、および機械加工による亀裂がないことの確認が必要です。
ガラス/セラミック - ガラスフリットは軟化点と CTE を検証する必要があります。 Al2O₃ セラミックは純度 (96% 以上) と密度を検証する必要があります。受け取った材料は洗浄および脱脂し、後で使用するために乾燥させる必要があります。
金属ピン – 表面仕上げ、真直度、直径公差を確認します。表面の傷は漏れの始まりとなる可能性があります。
前処理はその後のすべてのシールの成功を左右します。表面がきれいでないとシールは維持されません。
2. 封止・表面処理・最終検査
封止プロセスは核心であり、GTMS は焼結炉で実行され、CTMS はろう付け炉で実行されます。封止後に表面処理を行います。溶接性と耐食性を確保するために、最初にニッケルメッキ、次に金メッキを施します。
最終チェックでは、3 つのゲートを並行して実行します。
ゲート 1 — 気密性テスト。
ドア No. 2 - シール面に亀裂、気泡、変色がないか目視検査します。
ゲート 3 - 寸法および電気的性能のサンプリング検査。ピン間隔と絶縁抵抗は仕様を満たしている必要があります。
これら 3 つのパスに合格した製品のみが認定製品となります。原材料から完成品に至るまで、あらゆる段階が標準化され、記録され、追跡可能です。
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【用語解説】
1. コバール合金: 鉄-ニッケル-コバルト合金 (Fe:53%/Ni:29%/Co:17%)、CTE はホウケイ酸ガラスと一致します。 GTMS で最も一般的に使用される金属
2. Al2O3セラミック（アルミナセラミック） ：アルミナセラミック。純度 ≥96%、優れた絶縁性と機械的強度を備え、CTMS で最も一般的に使用されるセラミックです。
3. 絶縁抵抗: ピンとシェル間の抵抗は、パッケージの絶縁性能を評価するための重要な電気パラメータです。
