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主な特長
ガラスと金属の封止技術
脚とベースはガラス焼結により封止されており、確実な気密性を確保しています。
圧力伝導構造
ベースには圧力ガイド構造が組み込まれており、圧力の感知を容易にします。
カスタマイズされたデザインも利用可能
構造やピン配置はお客様のご要望に応じてカスタマイズ可能です。
圧力センサー
圧力センサーチップのコアパッケージングに適しています。
産業用制御
産業用圧力制御システムのセンシングコンポーネントのパッケージングに適しています。
成熟した GTMS プロセス
成熟したガラスと金属の封止技術プラットフォームに支えられています。
高いシール信頼性
過酷な環境で動作する繊細なコンポーネントを長期的に保護します。
この圧力センサー コネクタは、6 本のコバール合金ピンと、ガラスと金属のシーリング技術によって焼結されたステンレス鋼ベースで作られています。ガラス絶縁体は、ピン間の電気的絶縁と気密封止を実現します。圧力センシングチップはベースのセンシング面に取り付けられています。
ベースには圧力誘導チャネルが設計されています。外部からの圧力がこの経路を通じて感圧素子に作用し、感圧素子の抵抗、静電容量、周波数の変化を引き起こし、圧力信号の検出を実現します。キャップとベースが溶接された後、内部の敏感なコンポーネントを環境媒体による浸食から保護するために密閉されたキャビティが形成されます。
| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| 材料 | コバール、SPCC |
| プロセス | GTMS |
| 温度レベル | 高い熱安定性 |
| 気密性 | ≤1×10⁻⁹Pa・m3/s |
| 電気絶縁 | >5000MΩ(DC100V) |
| Dimensions | カスタマイズされたデザインも利用可能 |
| パッケージ | 標準梱包 |
| 適用する | 圧力センサー、産業用制御装置 |
