主な特長
ガラスと金属の封止技術 (GTMS)
ピンとベースはガラス絶縁体焼結により封止されており、確実な気密性を誇ります。
汎用流量計への適応性
各種流量計のパッケージング要件に適しています。
カスタマイズ可能なデザイン
寸法、ピン、構造はお客様の要件に応じてカスタマイズできます。
ガス流量計
各種ガス流量計のコアパッケージに適しています。
蒸気流量計
蒸気流量計の梱包に適しています。
適応可能なユニバーサルデザイン
ユニバーサルな構造設計で、さまざまな流量計用途に適しています。
成熟した GTMS プロセス
成熟したガラスと金属の封止技術プラットフォームに支えられています。
良好な気密性
内部コンポーネントを環境の影響から長期的に保護します。
流量計の端子 1 は、流量計の内部検出要素に電気的相互接続と気密保護を提供することによって機能します。ベースはステンレス鋼素材で作られています。ガラス絶縁ピンは焼結プロセスを通じてベースに接続され、気密接続が形成されます。
流量計の内部検出素子はベースの取り付け面に取り付けられ、ワイヤボンディングによって対応するピンに接続されます。電気信号はピンを介して外部測定システムに送信され、感知素子が流量情報を流量測定用の電気信号に変換します。
ベースと流量計ハウジングは溶接されて気密パッケージ構造を形成しており、内部の検出素子が測定媒体や外部環境によって侵食されず、流量計の長期安定した測定精度が保証されます。
| パラメータの | 仕様 |
|---|---|
| 材料 | コバール合金(コバール)またはステンレス鋼 |
| プロセス | GTMS |
| 温度定格 | 高い熱安定性 |
| 気密性 | ≤1×10⁻⁹ Pa・m3/秒 |
| 電気絶縁 | >5000MΩ(DC100V時) |
| Dimensions | カスタマイズ可能なデザイン |
| 包装 | 標準梱包 |
| アプリケーション | ガス流量計、蒸気流量計 |