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主な特長
ガラスと金属の封止技術 (GTMS)
ピンとベースはガラス絶縁体焼結により封止されており、確実な気密性を誇ります。
カスタマイズ可能なデザイン
ピンの寸法、数、レイアウトはお客様の要件に応じてカスタマイズできます。
ガス流量計
各種ガス流量計のベースやターミナルに最適です。
産業用ガス測定
産業用ガス流量測定および制御システムに適しています。
環境モニタリング
環境保護分野のガス流量監視装置に最適です。
成熟した GTMS プロセス
成熟したガラスと金属の封止技術プラットフォームに支えられています。
信頼性の高い長期シール
安定した気密性能で、長期の動作要件に適応します。
22-NI 気密端子ガス流量計ベースは、ガス流量計の内部検出素子に電気的相互接続と気密保護を提供することによって機能します。ガラス絶縁ピンは焼結プロセスを通じてベースに接続され、気密接続が形成されます。
ガス流量計の内部検出素子はワイヤボンディングによってピンに接続されています。電気信号はピンを介して外部測定システムに送信され、検知素子がガス流量情報を流量測定用の電気信号に変換します。
ベースと流量計ハウジングは溶接されて密閉パッケージ構造を形成しており、内部の検出素子が被測定ガスや外部環境によって侵食されることがなく、流量計の長期安定した測定が保証されます。
| パラメータの | 仕様 |
|---|---|
| 材料 | Y15Pb（快削構造用鋼）またはコバール合金（コバール） |
| プロセス | GTMS |
| 温度定格 | 高い熱安定性 |
| 気密性 | ≤1×10⁻⁹ Pa・m3/秒 |
| 電気絶縁 | ＞5000MΩ（DC100V時） |
| Dimensions | カスタマイズ可能なデザイン |
| 包装 | 標準梱包 |
| アプリケーション | ガス流量計、産業用ガス計測、環境監視 |
