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1. 入荷した材料の検査と前処理
気密パッケージの品質は原材料から始まります。 3種類の芯材の検査基準：
金属ハウジング — コバール合金ハウジングでは、化学組成 (Fe: 53%、Ni: 29%、Co: 17%) の検証、粒子サイズと寸法公差のサンプリング、および機械加工による亀裂がないことの確認が必要です。
ガラス/セラミック - ガラスフリットには軟化点と CTE の検証が必要です。 Al₂O₃ セラミックには、純度 (96% 以上) と密度の検証が必要です。受け取った材料は洗浄および脱脂し、後で使用するために乾燥させる必要があります。
金属ピン - 表面仕上げ、真直度、直径公差がチェックされます。表面の傷は漏れの始まりとなる可能性があります。
前処理によってその後のすべてのシールが成功するかどうかが決まります。表面がきれいでないとシールは保持されません。
2. 封止・表面処理・最終検査
封止プロセスは核心であり、GTMS は焼結炉で実行され、CTMS はろう付け炉で実行されます。封止後の表面処理は、はんだ付け性と耐食性を確保するために、最初にニッケルメッキ、次に金メッキです。
最終検査では 3 つのゲートを並行して実行します。
ゲート 1 — 気密性テスト。
ゲート 2 — 目視検査、シール表面に亀裂、気泡、変色がないか確認します。
ゲート 3 — 寸法と電気的性能の抜き取り検査。ピン間隔と絶縁抵抗は仕様を満たしている必要があります。
3 つのゲートをすべて通過した製品のみが認定製品となります。原材料から最終製品に至るまで、すべての段階に基準、記録、トレーサビリティがあります。
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【用語解説】
1. コバール合金: 鉄-ニッケル-コバルト合金 (Fe:53%/Ni:29%/Co:17%)、CTE はホウケイ酸ガラスと一致します。 GTMS で最も一般的に使用される金属
2. Al₂O₃セラミック（アルミナセラミック） ：酸化アルミニウムセラミック。純度 96% 以上で優れた絶縁性と機械的強度を備え、CTMS で最も一般的に使用されるセラミックです。
3. 絶縁抵抗: ピンとハウジングの間の抵抗 - パッケージの絶縁性能を評価するための重要な電気的パラメータ
