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1. パッケージが本当に密閉されているかどうかはどうやってわかりますか? — 重大なリークと微細なリークの二重テスト
気密パッケージが組み立てられた後、それが本当に「密閉」されていることをどのように証明するのでしょうか?目ではわかりません。分子レベルの漏れは完全に目に見えません。業界では、全体的なリーク テストと微細なリーク テストという 2 段階のテスト戦略を採用しています。どちらも省略できません。
総リークテストは、 より大きなリーク (>1×10⁻4 Pa・m3/s)を対象としています。一般的な方法には、蛍光色素の浸透試験や気泡試験などがあります。製品を加熱した蛍光染料液またはグリセリンに浸します。漏れ経路が存在する場合、染料が浸透するか泡が発生し、直接目に見えます。
ファインリークテストは微小リークを対象とします。古典的な方法は、ヘリウム質量分析によるリーク検出です。まずパッケージに高圧のヘリウムを「照射」し、ヘリウムがパッケージのキャビティに入るようにします。その後、取り出して漏れ検知器に置きます。ヘリウムがキャビティから漏れた場合、機器は 1×10⁻⁹ Pa・m3/s レベルまでの感度で正確に測定します。
2. 試験基準と合格基準
業界のベンチマークは、MIL-STD-883 Method 1014、「シール」です。この規格では、微小リーク許容しきい値はパッケージのキャビティ容積に依存することが規定されており、キャビティが小さいほど、許容リーク率は厳しくなります。一般的な要件は、 微細リーク率 ≤1×10-8 Pa・m3/s と、グロスリークテストでのリークゼロです。 Xuri (Rizhao Xuri Electronics) が大量に出荷する TO56 ヘッダー、光通信ヘッダー、およびその他の製品は、工場出荷前にヘリウム質量分析によるリーク検出検査が行われます。
合格基準の中核となるロジック: このリーク率では、20 年以上の耐用年数にわたって、パッケージに浸透する外部水分の量は内部チップに害を及ぼすほどの量ではありません。
気密性テストは気密パッケージングの「合格ゲート」です。このゲートを通過した後でのみ、製品は信頼性検証の次の段階に進むことができます。
[次の記事プレビュー] 次の記事: 密閉製品がさらに厳しい環境および機械的信頼性テストにどのように耐えられるか。
【用語解説】
1. 総リーク率:蛍光染料の浸透または気泡試験によって検出される、 より大きなリークのリーク率の大きさ (通常は>1×10⁻4 Pa・m³/s)
2. 微細リーク率:ヘリウム質量分析法によって検出される、 1×10-9 Pa・m3/sまでの微小リークのリーク率の大きさ。
3. ヘリウム質量分析法: トレーサーガスとしてヘリウムを使用する高感度リーク検出方法。気密性試験の標準的な方法
4. MIL-STD-883 (Military Standard 883) : マイクロ電子デバイスのテスト方法に関する米国軍事規格。高信頼性パッケージングの業界ベンチマークとして広く使用されています。
